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钨氧化物（WOx）薄膜电致变色性能的研究的开题

报告

一、研究背景

随着智能家居、可穿戴设备等电子产品的日益普及，人们对新型高

功能材料的需求愈加强烈。电致变色材料（ECM）因其具有在外界刺激下

实现颜色改变的功能，已被广泛应用于智能调光器、智能玻璃等领域。

而钨氧化物（WOx）薄膜因其独特的物理和化学性质，被认为是一种具

有良好电致变色性能的材料。因此，对于WOx薄膜的电致变色性能进行

深入研究具有重要的应用价值。

二、研究目的

本研究的目的是通过制备WOx薄膜，研究其在外界电场作用下的电

致变色性能，并探究不同工艺参数对其电致变色性能的影响。并提出提

高WOx薄膜电致变色性能的方法和措施，为其在智能调光器、智能玻璃

等领域的应用提供理论和实验基础。

三、研究内容

1.制备WOx薄膜

本研究将采用物理气相沉积法（PVD）和溅射法制备WOx薄膜。

PVD法可以控制WOx薄膜的结晶度、晶体方向和厚度等物理性质，溅射

法可以控制WOx薄膜的成分和化学性质。制备出的薄膜将经过表征测试，

包括XRD、SEM、AFM、XPS等。

2.研究WOx薄膜的电致变色性能

通过改变外界电场对WOx薄膜施加的电压和频率等参数，研究其电

致变色性能。利用可见光谱仪和电子显微镜等相关仪器来对WOx薄膜在

不同电场下表现出的颜色和形貌变化进行分析。

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3.探究WOx薄膜电致变色性能的影响因素

利用实验方法，探究制备工艺参数对WOx薄膜电致变色性能的影响，

包括制备温度、沉积速率、溅射功率等因素。

四、预期成果

预计通过本研究可以得到以下成果：

1.制备出WOx薄膜，并对其表征测试，包括物理性质和化学性质等。

2.研究WOx薄膜在外界电场作用下的电致变色性能，并探究其影响

因素。

3.提出进一步提高WOx薄膜电致变色性能的方法和措施，为其应用

提供理论和实验基础。

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