2023年半导体用石英玻璃材料项目可行性研究方案 .pdf

2023年半导体用石英玻璃材料项目可行性研究方案--第1页

半导体用石英玻璃材料项目可

行性研究方案

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目录

序言4

一、半导体用石英玻璃材料项目建设单位基本情况.4

(一)、半导体用石英玻璃材料项目建设单位基本情况4

(二)、半导体用石英玻璃材料项目主管单位基本情况6

(三)、半导体用石英玻璃材料项目技术协作单位基本情况8

二、半导体用石英玻璃材料项目建设目标.9

(一)、半导体用石英玻璃材料项目建设目标.9

三、半导体用石英玻璃材料项目建设背景.11

(一)、半导体用石英玻璃材料项目提出背景.11

(二)、半导体用石英玻璃材料项目建设的必要性12

(三)、半导体用石英玻璃材料项目建设的可行性13

四、工艺方案的选择.16

(一)、基本要求.16

(二)、典型工艺技术介绍.17

(三)、半导体用石英玻璃材料项目组成.19

(四)、工艺技术方案的选择.20

(五)、工艺技术方案的设计.21

五、半导体用石英玻璃材料项目建设符合性.23

(一)、产业发展政策符合性.23

(二)、半导体用石英玻璃材料项目选址与用地规划相容性24

六、半导体用石英玻璃材料项目组织管理与招投标.25

(一)、半导体用石英玻璃材料项目筹建时期的组织与管理25

(二)