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集成电路老化与可靠性试验分析.pdf

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工艺与制造ProcessandFabrication

集成电路老化与可靠性试验分析

朱文鹏，张瑞

（西安西谷微电子有限责任公司，陕西710077）

摘要：阐述集成电路老化的试验原理、主流设备和标准。介绍GJB548要求、影响和异议。老化试验是一

种无损试验，是剔除产品电测试不能识别的功能失效、参数漂移和存在潜在缺陷器件最有效的方法。

关键词：集成电路，功能失效，参数漂移，缺陷器件。

中图分类号：TN406文章编号：1674-2583(2024)03-0058-02

DOI：10.19339/j.issn.1674-2583.2024.03.023

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