晶体硅光伏电池用等离子体增强化学气相淀积（PECVD）设备 第1部分：管式PECVD设备.pdf

ICS31.550

CCSL95

SJ

中华人民共和国电子行业标准

SJ/TXXXXX—XXXX

晶体硅光伏电池用等离子体增强化学气相

淀积（PECVD）设备第1部分：管式PECVD

设备

Plasmaenhancedchemicalvapordeposition(PECVD)equipmentusedforcrystalline

siliconphotovoltaiccellsPart1:TubularPECVDequipment

—

（报批稿）

XXXX-XX-XX发布XXXX-XX-XX实施

中华人民共和国工业和信息化部发布

SJ/TXXXXX—XXXX

前  言

本文件按照GB/T1.1-2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定起

草。

本文件是SJ/TXXXXX《晶体硅光伏电池用等离子体增强化学气相淀积（PECVD）设备》的第1部分。

SJ/TXXXXX已经发布了以下部分：

——第1部分：管式PECVD设备

——第2部分：板式PECVD设备

请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。

本文件由全国半导体设备和材料标准化技术委员会（SAC/TC203）提出并归口。

本文件起草单位：湖南红太阳光电科技有限公司、中国电子科技集团公司第四十八研究所、中国电

子技术标准化研究院。

本文件主要起草人：吴得轶、田湘龙、龙会跃、成秋云、李晔纯、范迎新、肖友文、冯亚彬。

I

SJ/TXXXXX—XXXX

晶体硅光伏电池用等离子体增强化学气相淀积（PECVD）设备

第1部分：管式PECVD设备

1范围

本文件规定了晶体硅光伏电池用管式等离子体增强化学气相淀积（PECVD）设备（以下简称“管式

PECVD设备”）的术语和定义、型号命名、工作环境、要求、检验方法、检验规则以及包装、标志、搬

运和运输、贮存等。

本文件适用于晶体硅光伏电池用管式PECVD设备，产品主要用于在晶体硅光伏电池减反射膜、钝化

膜的淀积与氢钝化。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，

仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本

文件。

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