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用于芯片的缺陷检查方法、装置及系统.pdf

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(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117538342A

(43)申请公布日2024.02.09

(21)申请号202311563145.8

(22)申请日2023.11.22

(71)申请人紫光同芯微电子有限公司

地址1

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