一种太阳能硅片清洗用集中供液装置.pdf
文本预览下载声明
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 213124396 U
(45)授权公告日 2021.05.04
(21)申请号 202022644137.4
(22)申请日 2020.11.16
(73)专利权人 苏州煊能自动化设备有限公司
显示全部