一种半导体生产用空气净化装置.pdf
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(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 213132475 U
(45)授权公告日 2021.05.07
(21)申请号 202020989732.9
(22)申请日 2020.06.03
(73)专利权人 芜湖安鹿半导体有限公司
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