一种用于测试制冷机低温冷头微振动的装置.pdf
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(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114812785 A
(43)申请公布日 2022.07.29
(21)申请号 202110069646.5
(22)申请日 2021.01.19
(71)申请人 中国科学院理化技术研究所
地址 1
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