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一种基于压电薄膜的双轴微反射镜.pdf

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(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114815222 A (43)申请公布日 2022.07.29 (21)申请号 202210179579.7 (22)申请日 2022.02.25 (71)申请人上海科技大学地址 201210

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