形成微电子装置的方法和相关微电子装置、存储器装置和电子系统.pdf
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(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114823496 A
(43)申请公布日 2022.07.29
(21)申请号 202210094004.5 H01L 27/11548 (2017.01)
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