一种去除微小颗粒的冷冻清洗方法及装置.pdf
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(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114823283 A
(43)申请公布日 2022.07.29
(21)申请号 202210270342.X
(22)申请日 2022.03.18
(71)申请人 广州新锐光掩模科技有限公司
地址
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