文档详情

一种去除微小颗粒的冷冻清洗方法及装置.pdf

发布:2023-05-12约7.84千字共7页下载文档
文本预览下载声明
(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114823283 A (43)申请公布日 2022.07.29 (21)申请号 202210270342.X (22)申请日 2022.03.18 (71)申请人 广州新锐光掩模科技有限公司 地址
显示全部
相似文档