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电子洁净实验室防火管理措施

电子洁净实验室是研制精密电子元件不可缺少的工作室。按研究条件要求，洁净室必须是封闭的。由于在实验过程中要使用丙酮、丁酮以及乙醇等易挥发的易燃液体，有的实验还要求通入大量氢气，容易形成爆炸性混合物，遇到明火会导致着火或爆炸，故危险性较大。其主要防火措施是：

（1）电子洁净室应采用一、二级耐火等级的建筑，隔墙和内部装修材料尽可能采用不燃材料。

（2）电气设备应采用防爆型，电热器具应用密封式，并且置于不燃的基座上，要配备蓄电池等事故电源，出入口或者拐弯处要设安全疏散指示灯。

（3）气体钢瓶应放置在安全地点，不宜集中储放在洁净室内。用量少的小型钢瓶(如磷烷、硅烷等气体)最好放于专用橱柜中，不能随意存放。洁净室内使用的易燃液体、可燃气体，以及氧化剂、腐蚀剂等化学危险品，其管理方法与化学实验室相同。使用易燃液体和气体的洁净室，应还安装排风设备。

（4）洁净室应立足于火灾自救，设置比较完善的消防设施。有贵重、高精仪器、仪表以及电气设备的洁净室，应设置二氧化碳自动灭火系统，在便于通行的位置(如走廊)应设紧急报警按钮或电话等，以便和外部联系。

（5）加强对洁净室研究、实验人员的防火安全教育，制订安全管理制度及各种设备的安全操作规程；要求研究、实验人员会用灭火器材，会报火警、会自救以及会逃生。