AMAT Endura2 AL HP Chamber 预防性维护保养手册.docx
AMATEndura2ALHPChamber预防性维护保养手册
目录TOC\o1-1\h\z\u
2.目的 2
3.适用范围 2
4.相关术语 2
5.作业安全卫生与环保须知事项 2
6.维护频度的指定 3
7.定期维护操作流程 3
8.维护操作的Checklist 14
1目的
本手册是针对AMATEndura2ALHPChamber预防性维护保养的操作指导书。根据本手册进行设备的预防性维护保养,使之能够满足良好的稳定的工艺要求。
2适用范围
适用机台：AMALSAxx的ALHPChamber。
腔体结构与外观。(图1)
ChamberType
ChamberType
图1
相关术语：
术语
全称
描述
EMO
EmergencyOff
紧急停止按钮
PM
PreventiveMaintenance
预防性维护
MES
ManufacturingExecutionSystem
半导体制造执行系统
作业安全卫生与环保须知事项：
作业环保注意事项：
工艺废气排放：NA
工艺废水排放：NA
工艺噪音排放：NA
废物及处理方法：
项目
灰色垃圾桶
黄色垃圾桶
紫色垃圾桶
绿色垃圾桶
红色垃圾桶
无害废弃物
(氧化性)
(毒性)
(酸性)
(易燃性)
普通废弃物
★
沾有酒精
★
作业安全注意事项：
物理性危害：注意硬物碰伤或砸伤；搬运重物时防止扭伤或砸伤。
机械危害：注意运动部件机械压伤。
电气危害：DCPower,208VPower。
作业职业健康注意事项：
手部防护：乳胶手套。
脚部防护：钢包鞋。
眼部防护：防护眼镜。
操作人员应注意的安全事项：
所有操作人员必须通过适当的安全培训,了解所有操作环节中可能碰到的危险。
所有操作人员必须穿戴无尘室里允许的防护性的衣物,包括可能用到的专用手套。
保养前,要确保工作区域处于良好通风状况。
根据相应的规定,处理用过的无尘布。
预防措施：
在做设备维护前,在需要维护的Chamber周围放置安全锥。
紧急事故处理程序：
红色紧急关电装置(EMO)只用于当设备遇到严重故障,会危及人员,设备或产品时。
如果遇到紧急状况,马上通知ERC。(电话：55110)
项目
异常状况要素
紧急处理措施
标准操作流程
安全准备分析
1.
火灾
参考工安环保部门相应规范
a.马上通知周围人员
b.按紧急关电装置关闭设备(EMO)
c.关闭设备端气体源,通知厂务关闭厂务端气体源所有阀门
a.火警
b.知道灭火器位置及其使用方法
c.疏散路线
d.逃生门Exit
2.
地震
参考工安环保部门相应规范
a.按紧急关电装置关闭设备
b.寻找掩蔽处
c.根据情况逃生
a.疏散路线
b.逃生门
牢记紧急程序、急救箱的位置、灭火器的位置和使用方法。
发现危险状况,立即报告主管。
知道逃生路线和集合地点,勿阻塞紧急逃生路线,以免妨碍逃生。
维护频度的指定：
Tool名称
CH
ID
PM类型
PM目标(KWH)
PM频度
(KWH)
PM项目
PM所需时间
AMALSAxx
CH3
CH4
ProcessKitsPM
900
1400
ReplaceProcessKits
20小时
ShutterPM
350
300~400
ReplaceProcessKits
20小时
TargetPM
1800
1620~1890
ReplaceTarget
20小时
PM类型及频度
需要人数：2人
定期维护操作流程：
PM前的准备工作
准备需更换PartsList：
PMType
PartsList
AMATPN
VendorP/N（Target）
HLMCPN
Quantity
NeworRecycle
ProcessKitPM/
ShutterPM
DepositionRing
0200-07492
NA
CM0400131
1
Both
CoverRing
0021-84173
NA
CM0400151
1
Both
ShutterDisk
0021-26565
NA
CM0400111
1
Both
1-PieceShield
0021-45259
NA
CM0400101
1
Both
Target
PM
Target(Tosoh)
0190-23518
5955H-13-108-555
RT3000020
1
New
Target(Tosoh)
0190-23518
5958H-13-108-555
RT3000220
1
New
Target(Tosoh)
0190-23518
5958H-13-108-555
RT3000320
1
New
TargetO-R