gauge清洗步骤.ppt

Clean 步驟一 手套 C型扣夾 內六角扳手3及1.5 攝子 步驟二 使用內六角扳手1.5號，將電子頭螺絲鬆卸 步驟三 將電子頭與偵測頭分離 步驟四 使用內六角扳手3號將Pressure piece螺絲鬆卸*3 步驟五 Pirani element Complete anode 分解圖 步驟六 使用C型扣夾將C型扣取出 步驟七 C型扣陰極板分解圖 步驟八 使用7號板手將磁極分離 步驟九 Gauge 分解圖 步驟十 陽極棒上之小墊片位置距離不可移動 *若偏移將造成讀值不準確 Conversion * Dedicated in Vacuum Technology * Dedicated in Vacuum Technology 首先將5、6取出 再將3、1打開,將2、3、7分離 再將8號打開,便可細部分解 選擇400號菜瓜布(3M),分別將5、 6、7研磨,再給予高純度酒精 (99.9%)清洗及烘乾 13部份則以高純度酒精(99.9%),加以超音波震動,再烘乾 10、10a部份若有污染必須更換,10、10a間距離有特定數值,不可隨意更換 組裝完畢必須給予測漏 量測校正(高真空環境下) * Dedicated in Vacuum Technology