作动器往复密封可靠性退化分析.pdf
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２０２４年８月Ａｕｇ２０２４
第４９卷第８期Ｖｏｌ４９Ｎｏ８
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ＤＯＩ：１０３９６９／ｊｉｓｓｎ０２５４０１５０２０２４０８００
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往复式密封装置的可靠性评估.docx
往复式密封装置的可靠性评估
目录
内容概要．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．2
1.1研究背景．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．2
1.2研究目的与意义．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．3
1.3文献综述．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．4
往复式密封装置概述．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．5
2.1往复式密封装置的结构特点
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机封运行可靠性 由以下因素决定： 设计 密封 泵 辅助系统 冲洗系统 安装 密封 泵 机封设计 泵的设计 辅助系统的设计 可靠性 防止背压 保持密封清洁 使密封保持冷却 防止闪蒸 重新添加隔离液时，不会导致反压和杂质的引入 采用合适的隔离液 冲洗系统的设计 适合于该类型密封 单封和不带压双封 合适的流量 合适的温度 合理的分布 干净 密封安装 没有杂质 正确安装 - 适合于单双封 密封腔要求 端面对轴垂直度 对轴的同轴度 保证密封表面良好 冲洗口位置正确 考虑热涨性 泵的安装 对中性 (热和冷) 底座的吸振性 联轴节空间 (轴向) 泵的操作 吸头损失 节流调节 流量可靠性 (控制方式) 流量
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微电子机械系统(MEMS)是将微敏感器、执行器以及相关的控制电路集成到一
起的微型电子机械系统。随着MEMS的迅猛发展，MEMS的性能不断提升，其可
靠性也越来越受到重视。MEMS器件种类繁多，其结构复杂多样，工作环境极端
恶劣，存在着气密性退化、疲劳、腐蚀等问题，这为其可靠性研究带来了很大挑战，
制约了MEMS的发展。鉴于此，本文以典型MEMS产品—MEMS电容式加速度
传感器作为研究对象，研究MEMS加速度传感器性能退化与可靠性分析方法，为
提高MEMS可靠性、推动MEMS技术发展提供理论支撑。本文主要包括以下研究
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华中科技大学武汉
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摘要在对产品性能退化和环境冲击载荷进行分析的基础上提出了一种新的产品可靠性评估方
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(21)申请号 202110019936.9
(22)申请日 2021.01.07
(65)同一申请的
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(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 112989629 B
(45)授权公告日 2023.04.07
(21)申请号 202110417220.4 G06F 18/2321 (2023.01)
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可 靠 性 工 程
结 课 论 文
题 目： 混频器组件可靠性分析
学 院： 机电学院
专 业： 机械电子工程
学 号： 201100384216
学生姓名： 郭守鑫
指导教师： 尚会超
2014年6月
目录
摘要·································