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一种基于压电晶体的显微系统及其自动对焦方法.pdf

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(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112965231 A (43)申请公布日 2021.06.15 (21)申请号 202110214359.9 (22)申请日 2021.02.26 (71)申请人南京

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