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半导体级超纯可熔性聚四氟乙烯（PFA）管

编制说明

一、工作简况

1任务来源

根据中国石油和化学工业联合会印发《关于印发2023年第一批中国石油和化

学工业联合会团体标准项目计划的通知》，《半导体级超纯PFA管》被列入中国

石油和化学工业联合会团体标准制定计划。

本标准由中国石油和化学工业联合会提出，中国石油和化学工业联合会标准

化工作委员会归口，由保视丽（上海）新材料科技有限公司、浙江巨圣氟化学有

限公司、株洲宏大高分子材料有限公司、山东美氟科技股份有限公司、山东华夏

神舟新材料有限公司、浙江启尔机电技术有限公司、浙江科赛新材料科技有限公

司、上海沃特华本半导体科技有限公司、东莞市君昇氟塑料制品有限公司、浙江

焓盛氟塑料有限公司、大金氟化工（中国）有限公司、福建海德福新材料有限公

司、常州市星干干燥设备有限公司、东莞市圣安塑料机械有限公司、温州大学新

材料与产业技术研究院、上海芯密科技有限公司、上海长园电子材料有限公司、

迅势科技有限公司、山东齐氟新材料有限公司、德赢创新（上海）半导体设备技

术有限公司、邵武永和金塘新材料有限公司、北京国化新材料技术研究院有限公

司共同组织起草。

2标准制定背景、目的意义

2.1产品及行业概况

随着科技的迅猛发展，半导体行业成为了全球经济的重要支柱之一。在精密

制造和高纯物质处理的过程中，对材料和配件的要求极为严格。PFA（四氟乙烯

与全氟代烷基乙烯基醚的共聚物）管材及其配件因其独特的性能，在半导体行业

中扮演着至关重要的角色。

在半导体制造中，PFA管材配件广泛应用于化学品输送系统、清洗单元、刻

蚀设备和其他需要高纯度介质传输的环节。与其他管道相比，超纯PFA管具有以

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下优势：1）高纯度：超纯PFA管材配件不含有任何金属元素，不会对半导体制

造过程中的化学品产生污染，保障了高纯度介质的输送。2）耐腐蚀性：在半导

体制造中需要处理多种腐蚀性化学品，PFA管出色的化学惰性确保了管道能够安

全地输送这些化学品，而不会对管道本身造成腐蚀或污染。3）耐高温：半导体

制造过程常常需要在高温环境下进行，PFA管材配件能够承受较高的工作温度

（-200~260℃），适用于各种高温工艺。4）易于清洁：PFA的非粘性表面使得

管材配件在使用过程中不易粘附化学物质，便于清洁和维护。5）安全性：PFA

管材配件具有良好的电绝缘性，可以减少电气故障的风险，提高生产安全性。

PFA管以其卓越的性能在半导体行业中发挥着重要作用。它们不仅确保了高

纯度化学品的安全输送，还提高了生产效率和产品质量，降低了维护成本。随着

半导体技术的不断进步，PFA管材配件的应用将更加广泛，为半导体行业的发展

提供强有力的支持。

根据QYResearch头部企业研究中心调研，全球范围内PFA管生产商主要包括

NICHIAS、Parker、Swagelok、Yodogawa、NipponPillar、Altaflo、Zeus、Tef-Cap

Industries、Junkosha、PolyflonTechnologyLimited等。2023年，全球前十强厂商

占有大约54.0%的市场份额。由于原料、技术等方面的差异，国产企业起步较晚，

但也有部分企业目前已实现工业化生产，主要有保视丽、株洲宏大、君昇科技等。

全球市场主要企业排名如图1所示。

图1PFA管全球市场主要企业排名

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2.2标准编制的意义及必要性

随着大规模集成电路的高集成度化、高密度化、精细化的发展，对半导体生

产过程中使用的材料提出了更高纯度和功能性的更高要求，对PFA材料也提出了

多种不同要求。建立针对半导体制程设备使用的超纯输送系统的相关零配件的标

准，特别是湿电子化学品需要大面积接触的输送PFA管道标准。将会极大的规范

超纯输运系统行业的发展，促进本行业技术水平的快速提升，提升中国半导体产

业的技术水平。

该标准是在参考了用于超纯水和液态化学品输送系统的聚合物材料及组件

的规范文件SEMIF57基础上提出的，满足中国本地半导体行业发展的新标准。

不仅对用于超纯输运管道的原料做了技术规范，也针对半导体湿电子化学的实际

应用，提出了制品的