单晶硅超纯水设备技术资料分享..docx
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单晶硅超纯水设备技术资料分享一、单晶硅超纯水设备-10T/H概述 单晶硅超纯水设备是根据其用水的特殊要求设计而生产的新型水处理设备,用户可以根据自己的实际需求调整出水量,避免不必要的浪费。单晶硅超纯水设备采用先进的电渗析与离子交换相结合的技术,克服了单一技术的缺点。单晶硅超纯水设备采用微电脑控制,在线显示各种工艺参数,操作十分方便。 二、单晶硅超纯水设备-10T/H功能特点 1、系统开机自检、多重安全保护,停水或水压不足,系统自动断电保护。 2、美国先进的超纯水处理技术和进口膜组件,美国进口纯化树脂,可适应各种地区自来水的进水水源,保障取水水质和流量。 3、独创超便捷预处理过滤系统,滤芯更换灵活便捷,降低运行成本。 4、液晶彩屏实时显示运行状态, 自动连续产水。 5、具备水质水量升级功能。 6、实时在线监测超纯水水质。 7、开机可自动冲洗RO膜及管路。 8、一机双水,即可产生纯水和超纯水两种水质,满足不同实验项目的需求。 9、防腐蚀ABS机箱,人体工程学设计,复合GLP规范。 10、多种规格储水桶可选,满足不同需求。 11、可根据用户需求设计安装纯水供应管路。 技术资料来源于唐山超纯水设备工程公司 三、单晶硅超纯水设备-10T/H的设计优势 (1)系统采用最新水处理技术双级RO EDI 混床,模块化设计,严格按最新技术设计标准,确保水质稳定,长效运行。 (2)通过专业技术设计,确保系统短时停机及长时间停机时水质保持稳定。 (3)通过专业技术保证终端出水恒压、水质稳定。 (4)通过完善的技术,最大限度的提高系统回收率,降低能耗和运行成本。 (5)采用海德能ESPA2超低压膜,运行稳定,能耗低。 (6)采用PH调节系统以确保水温下降或原水PH值偏低时EDI出水水质。 (7)配备专门的有化学清洗系统,可定期对反渗透进行化学清洗,以确保系统稳定运行。 (8)配备浓水置换专业技术,防止膜系统受到微生物污染。 (9)EDI及后段出水采用超纯水专用管道,最大限度的保证出水水质。 (10)EDI水箱采用氮封装置,以确保终端水质稳定及延长核能混床的寿命。 (11)采用PLC加触摸屏控制系统,并采用进口电气原件,操作方便,运行稳定。 (12)主题材料全部采用行业内国际知名品牌,保质保量,并按最佳配置设计。 四、单晶硅超纯水设备-10T/H工艺要求 1、预处理系统 单晶硅超纯水设备特设了三级预处理系统。特别适合自来水盐度高、硬度大、固体杂质较多、氯含量较高地区的客户,使用极其方便、经济。该系统依照“层层保护、逐级过滤”设计理念精心设计而成。由于各单元均采取大容量、高精度设计,所以预处理功能更强大,自保护更好,对各类杂质去除效率也更高。 2、反渗透系统 采用哪优质进口RO膜。具有极强筛分功能,它的性能极其稳定,在系统既定压力下,只能透水而不通过溶质。因此,能精密滤除水中的细菌、病毒、盐类及各种致癌物质。脱盐率≥99%。反渗透系统具备自动清洗功能,有效预防反渗透膜结垢堵塞,保证其高效稳定的运行。 3、超纯化系统 采用优质核子级抛光混床三柱树脂,超纯化系统的设置,使得水中离子被全部除去,通过该系统的产水水质电阻率最高可达到18兆欧/厘米,足以满足不同实验基本应用的要求。 五、单晶硅超纯水设备-10T/H工艺流程 1、采用离子交换方式,其流程如下: 原水→原水加压泵→多介质过滤器→活性炭过滤器→软水器→精密过滤器→阳树脂过滤床→阴树脂过滤床→阴阳树脂混床→微孔过滤器→用水点。 2、采用两级反渗透方式,其流程如下: 原水→原水加压泵→多介质过滤器→活性炭过滤器→软水器→精密过滤器→第一级反渗透 →PH调节→中间水箱→第二级反渗透(反渗透膜表面带正电荷)→纯化水箱→纯水泵→微孔过滤器→用水点。 3、采用EDI方式,其流程如下: 原水→原水加压泵→多介质过滤器→活性炭过滤器→软水器→精密过滤器→一级反渗透机→中间水箱→中间水泵→EDI系统→微孔过滤器→用水点。 六、单晶硅超纯水设备-10T/H水质标准 单晶硅超纯水设备出水水质完全符合美国ASTM纯水水质标准、我国电子工业部电子级水质技术标准(18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm五级标准)、我国电子工业部高纯水水质试行标准、美国半导体工业用纯水指标、日本集成电路水质标准、国内外大规模集成电路水质标准。 七、单晶硅超纯水设备-10T/H进水水质指标控制手段 (1)进水电导率的控制。严格控制前处理过程中的电导率,使EDI进水电导率小于40μS/cm,可以保证出水电导率合格以及弱电解质的去除。 (2)工作电压-电流的控制。系统工作时应选择适当的工作电压-电流。同时由于EDI净水设备
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