磁控溅射镀膜机.pdf

《磁控溅射离子镀膜机工件架系统设计》.docx 《磁控溅射离子镀膜机工件架系统设计》一、引言 磁控溅射离子镀膜机是现代表面处理技术中的一种重要设备，其工件架系统作为设备的关键组成部分，对于镀膜的质量、效率和稳定性具有重要影响。本文旨在探讨磁控溅射离子镀膜机工件架系统的设计，从设计需求、设计原则、结构设计、控制系统设计以及优化策略等方面进行全面分析，旨在为相关设备的研发和改进提供理论支持和指导。二、设计需求分析首先，工件架系统需要满足磁控溅射离子镀膜机的工艺要求，能够稳定地支撑和固定各种形状和大小的工件。其次，工件架系统应具备较高的装载量，以满足大规模生产的需求。此外，考虑到镀膜过程中可能产生的高温和化学腐蚀，工件架系统应具备优良的耐热

2024-12-31 约8.68千字 18页立即下载

高真空磁控溅射镀膜机挂网doc .doc 重庆大学高真空磁控溅射镀膜机 我校拟采购高真空磁控溅射镀膜机，相关要求如下：极限真空：溅射室经烘烤真空度极限≤×10-5Pa。系统漏率：停泵关机12小时后，溅射室真空度可达≤10Pa。工作真空：二次恢复真空时间：短时间暴露大气充干燥氮气 0min（空载）可以抽至×10-4Pa。旁抽系统：旁抽系统采用一路动角阀抽气。通过三通和管道由KF40电磁截止阀使机械泵和分子泵切换。溅射靶：设备配置支矩形磁控靶，支矩形永磁溅射靶：靶尺寸mm×100mm；工作压强 Pa-10 Pa；功率密度：6-8 W/cm2；工作电压 500V；带有屏蔽气动挡板。供气系统：采用路MFC质量流量计供气，气体

2017-06-03 约1.42千字 2页立即下载

《磁控溅射镀膜》.doc 磁控溅射 /wiki/%E7%A3%81%E6%8E%A7%E6%BA%85%E5%B0%84 磁控溅射是为了在低气压下进行告诉溅射，必须有效地提高气体的离化率。通过在靶阴极表面引入磁场，利用磁场对带电粒子的约束来提高等离子体密度以增加溅射率的方法。 磁控溅射-工作原理 ? ? ? ? 磁控溅射的工作原理如图，电子在电场E的作用下，在飞向基片过程中与氩原子发生碰撞，使其电离产生出Ar+和新的电子；新电子飞向基片，Ar+在电场作用下加速飞向阴极靶，并以高能量轰击靶表面，使靶材发生溅射。在溅射粒子中，中性的靶原子或分子沉积在基片上形成薄膜，而产生的二次电子会受到电场和磁场作用，产生E（电场）×B

2016-03-03 约2.12万字 20页立即下载

电子束蒸发镀膜机与磁控溅射镀膜机招标文件doc - 招标文件.doc 招标文件招标编号：2010195 项目名称：电子束蒸发镀膜机/磁控溅射镀膜机 苏州大学实验室与设备管理处 2010年9月9日招标公告因教学、科研需要，实验室与设备管理处就电子束蒸发镀膜机/磁控溅射镀膜机采购项目进行公开招标。 1、项目名称：电子束蒸发镀膜机/磁控溅射镀膜机 2、招标编号： 2010195 3、招标货物品名、数量及主要技术规格：详见招标文件。 4、招标文件价格：标书费每份人民币500元，售后不退，可投标时交纳。 5、投标截止日期及时间：投标人应在2010年9月21日上午8点30分前将投标书送达苏州大学设备处。 6、投标地点：江苏苏州市东环路50号凌云楼

2018-06-10 约5.55千字 10页立即下载

磁控溅射镀膜技术.ppt ;一、引言;;2、发展概况（1）;2、发展概况（2）;2、发展概况（3）;2、发展概况（4）; 3、国内发展情况;; 2000年和2001年豪威公司先后研制出两条新的大型中频双靶反应溅射制备二氧化硅膜与氧化铟锡膜在线联镀装置并投入生产. 2002年豪威公司在国内首次引进PEM控制系统,自行安装调试,成功的应用于多层光学膜的研发工作中.;;;二、气体放电某些特性在一般的溅射装置中，在真空室内辉光放电形成并加速正离子，应熟悉气体放的某些电特性 1、辉光放电巴刑曲线--绝缘间隙的选取放电气体压力P与电极之间距离d的乘积p.d对辉光放电压U的影响，相对应的曲线称巴刑曲线，该曲线所展示的规律称巴刑定

2025-04-02 约1.39千字 87页立即下载

磁控溅射镀膜方案.doc 钛镍金磁控溅射镀膜方案实验目的 1、详细掌握磁控溅射制备钛镍金薄膜的实验程序。 2、掌握实验数据处理和分析方法，并对实验数据处理和分析。 3、通过调整实验数据以及数据分析来确定磁控溅射镀膜厚度。 4、通过实验得出镀1微米钛、1微米镍、0.5微米金的薄膜参数。实验原理 磁控溅射的工作原理是指电子在电场E的作用下，在飞向基片过程中与氩原子发生碰撞，使其电离产生出Ar正离子和新的电子；新电子飞向基片，Ar离子在电场作用下加速飞向阴极靶，并以高能量轰击靶外表，使靶材发生溅射。在溅射粒子中，中性的靶原子或分子沉积在基片上形成薄膜，而产生的二次电子会受到电场和磁场作用，产生E〔电场〕×B〔磁场〕所指的

2024-07-26 约1.74千字 5页立即下载

《磁控溅射镀膜技术1》.ppt 1、溅射镀膜技术是真空镀膜技术中应用最广的正在不断发展的技术之一 2、发展概况（1） 1842年Grove发现阴极溅射现象 1877年将二极溅射技术用于镀制反射镜。二十世纪三十年代采用二极溅射技术镀制金膜作为导电底层以后出现射频溅射、三极溅射和磁控溅射。 2、发展概况（2） 1936年和1940年Penning相继发明圆柱和圆筒磁控溅射阴极。-- Penning放电、 Penning规、Penning离子源相继出现 1963年美国贝尔实验室采用10米的连续溅射镀膜装置镀制集成电路的鉭膜，首次实现溅射镀膜产业化。 1970年圆柱磁控溅射阴极获得工业应用 2、发展概况（3） 1980年前

2016-02-29 约字 87页立即下载

磁控溅射镀膜方案.doc 钛镍金磁控溅射镀膜方案实验目的 1、详细掌握磁控溅射制备钛镍金薄膜的实验程序。 2、掌握实验数据处理和分析方法，并对实验数据处理和分析。 3、通过调整实验数据以及数据分析来确定磁控溅射镀膜厚度。 4、通过实验得出镀1微米钛、1微米镍、0.5微米金的薄膜参数。实验原理 磁控溅射的工作原理是指电子在电场E的作用下，在飞向基片过程中与氩原子发生碰撞，使其电离产生出Ar正离子和新的电子；新电子飞向基片，Ar离子在电场作用下加速飞向阴极靶，并以高能量轰击靶表面，使靶材发生溅射。在溅射粒子中，中性的靶原子或分子沉积在基片上形成薄膜，而产生的二次电子会

2016-04-01 约1.81千字 8页立即下载

《磁控溅射镀膜》课件.ppt 磁控溅射镀膜技术概述;课程目标;磁控溅射镀膜的定义;磁控溅射镀膜的发展历史;溅射镀膜的基本原理;磁控溅射与传统溅射的区别;磁控溅射的优势;磁控溅射设备结构;磁控溅射靶材类型;工作气体的选择;磁场的作用原理;等离子体的形成过程;溅射产额的影响因素;直流磁控溅射;射频磁控溅射;脉冲磁控溅射;反应性磁控溅射;共溅射技术;磁控溅射的工艺参数;溅射功率的影响;工作气压的作用;基底温度的控制;靶-基底距离的优化;沉积速率的调节;薄膜厚度的控制方法;薄膜均匀性的提高;薄膜附着力的增强技术;应力控制与调节;磁控溅射制备金属薄膜;磁控溅射制备氧化物薄膜;磁控溅射制备氮化物薄膜;磁控溅射制备碳基薄膜;多层膜的制备

2025-04-13 约小于1千字 60页立即下载

2024-10-17 约4.57千字 5页立即下载

年中国磁控溅射镀膜机市场动态监测及竞争战略研究报告.docx 研究报告 PAGE 1- 年中国磁控溅射镀膜机市场动态监测及竞争战略研究报告第一章中国磁控溅射镀膜机市场概述 1.1市场发展背景 (1)中国磁控溅射镀膜机市场的发展背景可以从多个维度进行分析。首先，随着我国经济的持续增长，制造业对高端装备的需求日益增加，磁控溅射镀膜机作为关键设备之一，其市场需求也随之扩大。其次，在政策层面，国家对于高端装备制造业的支持力度不断加大，为磁控溅射镀膜机行业的发展提供了良好的政策环境。此外，随着科技的进步，磁控溅射镀膜技术不断取得突破，使得产品性能和稳定性得到显著提升，进一步推动了市场的快速发展。 (2)具体来看，磁控溅射镀膜机在电子信息、新能源、航空航天、医疗器

2025-02-20 约1.28万字 24页立即下载

能真空集热管磁控溅射镀膜机项目建议书(立项报告).docx 研究报告 PAGE 1- 能真空集热管磁控溅射镀膜机项目建议书(立项报告) 一、项目背景与意义 1.项目背景 (1)随着科技的不断进步，新能源和节能环保产业得到了迅猛发展。太阳能作为一种清洁、可再生的能源，越来越受到全球范围内的关注。在太阳能利用中，真空集热管作为关键部件，其性能直接影响着太阳能热利用系统的效率。因此，提高真空集热管的集热效率和稳定性成为当前研究的热点。 (2)磁控溅射镀膜技术是薄膜制备的重要手段之一，广泛应用于电子信息、航空航天、新能源等领域。在真空集热管的生产过程中，采用磁控溅射镀膜技术可以有效提高集热管的耐腐蚀性、耐高温性和光学性能。然而，目前国内在磁控溅射镀膜技术方面与

2025-03-06 约1.21万字 23页立即下载

2025-03-23 约3.12万字 35页立即下载

2025-02-22 约1.54万字 29页立即下载

2025至2030年中国磁控溅射离子镀膜机数据监测研究报告.docx 2025至2030年中国磁控溅射离子镀膜机数据监测研究报告目录 TOC\o1-3\h\z\u一、行业现状 4 1.行业概述 4 磁控溅射离子镀膜机定义及分类 4 全球市场发展背景分析 6 2.市场规模与增长趋势 7 历史市场规模（2025年） 7 预测未来五年发展趋势（2030年） 8 2025至2030年中国磁控溅射离子镀膜机市场预估报告 9 二、行业竞争格局 9 1.主要参与者及其市场份额 9 市场领先者概况及产品线介绍 9 新兴企业或潜在颠覆者分析 10 2.竞争策略与差异化优势 11

2025-02-04 约2.83万字 39页立即下载