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一种基于混合集成工艺的光电微系统封装结构.pdf

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(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112993058 A (43)申请公布日 2021.06.18 (21)申请号 202110150648.7 H01L 23/64 (2006.01)
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