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压力传感器的芯片封装单元及压力传感器.pdf

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(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112985653 B (45)授权公告日 2022.04.12 (21)申请号 202110174993.4 (51)Int.Cl.
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