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一种多通道的MEMS光开关模块.pdf

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(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114545559 A (43)申请公布日 2022.05.27 (21)申请号 202210020961.3 (22)申请日 2022.01.10 (71)申请人桂林光隆集成科技有限公司地址 5

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