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一种利用卤素检测机组检测真空系统严密性的方法.pdf

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(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114544116 A (43)申请公布日 2022.05.27 (21)申请号 202210027075.3 (22)申请日 2022.01.11 (71)申请人 淮北矿业股份有限公司 地址 235
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