一种背照式硅基单光子雪崩二极管结构及光电探测器.pdf
文本预览下载声明
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114551631 A
(43)申请公布日 2022.05.27
(21)申请号 202210090168.0
(22)申请日 2022.01.25
(71)申请人 西安电子科技大学
显示全部