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一种刻蚀机基片冷却固定装置.pdf

发布：2023-05-08约6.31千字共7页下载文档

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(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114551297 A (43)申请公布日 2022.05.27 (21)申请号 202210111785.4 (22)申请日 2022.01.29 (71)申请人中国科学院光电技术研究所地址 6

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