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一种亚稳态氪原子束流制备装置.pdf

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(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114554672 A (43)申请公布日 2022.05.27 (21)申请号 202210079807.3 (22)申请日 2022.01.24 (71)申请人 中国人民解放军战略支援部队航天
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