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一种耐高温且宽量程的声表面波应变传感器.pdf

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(19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112985316 B (45)授权公告日 2022.07.26 (21)申请号 202110187453.X (56)对比文件

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