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一种金属-陶瓷多层膜中空微点阵材料制备方法.pdf

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(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114540782 A (43)申请公布日 2022.05.27 (21)申请号 202210180629.3 C23C 14/58 (2006.01)
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