一种金属-陶瓷多层膜中空微点阵材料制备方法.pdf
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(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114540782 A
(43)申请公布日 2022.05.27
(21)申请号 202210180629.3 C23C 14/58 (2006.01)
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