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一种超洁净环境下制备非晶带材的系统.pdf

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(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114535521 A (43)申请公布日 2022.05.27 (21)申请号 202210250496.2 (22)申请日 2022.03.10 (71)申请人 合肥科晶材料技术有限公司 地址 2
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