一种超洁净环境下制备非晶带材的系统.pdf
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(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114535521 A
(43)申请公布日 2022.05.27
(21)申请号 202210250496.2
(22)申请日 2022.03.10
(71)申请人 合肥科晶材料技术有限公司
地址 2
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