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一种单晶硅刻蚀制绒添加剂及其应用.pdf

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(19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112813502 B (45)授权公告日 2022.05.20 (21)申请号 202011643702.3 H01L 31/18 (2006.01) (22)申请日 2020.12

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