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MEMS麦克风及电子装置.pdf

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(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112995868 A (43)申请公布日 2021.06.18 (21)申请号 202110203364.X (22)申请日 2021.02.23 (71)申请人歌尔微电子股份有限公司

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