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一种大口径摆镜的高精度面形约束装置及方法.pdf

发布：2023-05-11约8.43千字共8页下载文档

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(19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 114545587 B (45)授权公告日 2023.03.31 (21)申请号 202210285729.2 (56)对比文件 (22)申请日 2022.03.23

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