基于拍型仿生纤毛的高灵敏度MEMS心音心电一体化检测传感器.pdf
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(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113331863 A
(43)申请公布日 2021.09.03
(21)申请号 202110701358.7
(22)申请日 2021.06.24
(71)申请人 中北
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