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板载压力传感器的制备方法及其板载压力传感器.pdf

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(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113340514 A (43)申请公布日 2021.09.03 (21)申请号 202110720391.4 (22)申请日 2021.06.28 (71)申请人东莞市华芯联科技有限公司

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