一种激光加热微纳光子学器件模压加工装置及方法.pdf
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(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112811795 A
(43)申请公布日 2021.05.18
(21)申请号 202110016616.8
(22)申请日 2021.01.07
(71)申请人 长春理工大学
地址
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