浸没式等离子体发生器及包括该浸没式等离子体发生器的应用.pdf
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(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113366921 A
(43)申请公布日 2021.09.07
(21)申请号 201980090153.0 (51)Int.Cl.
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