旋转承载台、半导体材料清洗机及划片机.pdf
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(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 114535201 B
(45)授权公告日 2022.08.02
(21)申请号 202210448208.4 H01L 21/67 (2006.01)
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