一种结晶硅微粉生产用干燥装置.pdf
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(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 213396454 U
(45)授权公告日 2021.06.08
(21)申请号 202022021635.3
(22)申请日 2020.09.16
(73)专利权人 连云港浩宇石英有限公司
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