【2017年整理】硅的制备及其晶体结构.ppt

天津工业大学 定位边研磨 Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. 天津工业大学 硅片的定位边 D200mm: Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. 天津工业大学 硅片抛光和倒角 Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. 天津工业大学 硅片的CMP抛光 Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. 天津工业大学 §1.3 硅晶体结构特点 晶胞：最大限度反映晶体对称性的最小单元； 七大晶系，14种布喇菲点阵，对应14种晶胞； Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. 天津工业大学 金刚石的晶体结构 Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. 天津工业大学 金刚石结构（Si、Ge、GaAs） Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. 天津工业大学 原子密度及晶体内部空隙 原子密度 晶格常数a (Si=5.43?) 原子密度＝晶胞中包含原子个数/晶胞体积 晶体内部空隙 空间利用率＝晶胞包含原子个数*原子体积/晶胞总体积 Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. 天津工业大学 硅晶体中的原子密度和空隙 8个顶点原子；6个面心原子 4个体心原子 总原子个数＝1＋3＋4＝8 晶格常数为a (Si=5.43?) 硅晶体中的原子密度为：8/a3=5*1022/cm3 硅原子的半径 硅晶体中的空间利用率 Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. 天津工业大学 §1.4 晶体中的晶向和晶面 晶向：表示晶列的方向，从一个阵点O沿某个晶列到另一阵点P作位移矢量R，则 R=l1a+l2b+l3c；（l1:l2:l3 ＝m:n:p 化为互质整数） 晶向指数【mnp】： 晶向矢量在三晶轴上投影的互质指数 在立方晶体中，同类晶向记为mnp 100代表了[100]、[ī00]、[010]、 [0ī0]、[001]、[00ī]六个同类晶向； 111代表了立方晶胞所有空间对角线 的8个晶向； 110表示立方晶胞所有12个面对角线 的晶向。 Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. 天津工业大学 晶面及密勒指数 晶面：点阵中的所有阵点全部位于一系列相互平行、等距的平面上，这样的平面系称为晶面，一系列等效的晶面构成晶面族。 Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Prof