一种垂直氮化镓肖特基二极管及其制备方法.pdf
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(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 114566550 B
(45)授权公告日 2023.03.28
(21)申请号 202210045987.3 (51)Int.Cl.
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