微机械学中的纳米摩擦学_第二节续概要.ppt

微机械学中的纳米摩擦学 2.1 常用电子显微镜 电子显微镜常用的有透射电镜（transmission electron microscope，TEM）和扫描电子显微镜（scanning electron microscope，SEM）。 电子显微镜发展的历史 2.1 常用电子显微镜 电子显微镜常用的有透射电镜（transmission electron microscope，TEM）和扫描电子显微镜（scanning electron microscope，SEM）。 电子显微镜发展的历史 2.1 常用电子显微镜 透射电镜工作原理 2.1 常用电子显微镜 透射电镜优点 2.1 常用电子显微镜 透射电镜缺点 2.1 常用电子显微镜 透射电镜作用与应用 2.1 常用电子显微镜 透射电镜作用与应用 2.1 常用电子显微镜 透射电镜作用与应用 2.1 常用电子显微镜 扫描电子显微镜（Scanning Electron Microscope，SEM） 扫描电子显微镜是继透射电镜之后发展起来的一种电子显微镜。扫描电子显微镜的成像原理和透射电子显微镜不同，它是以电子束作为照明源，把聚焦得很细的电子束以光栅状扫描方式照射到试样上，产生各种与试样性质有关的信息，然后加以收集和处理从而获得微观形貌放大像。 2.1 常用电子显微镜 2.1 常用电子显微镜 2.1 常用电子显微镜 2.1 常用电子显微镜 2.1 常用电子显微镜 2.1 常用电子显微镜 2.1 常用电子显微镜 2.1 常用电子显微镜 2.1 常用电子显微镜 2.1 常用电子显微镜 扫描电子显微镜工作原理 扫描电镜是用聚焦电子束在试样表面逐点扫描成像。成像信号可以是二次电子、背散射电子或吸收电子。其中二次电子是最主要的成像信号。由电子枪发射的能量为 5 ～ 35keV 的电子，经二级聚光镜及物镜的缩小形成具有一定能量、一定束流强度和束斑直径的微细电子束，在扫描线圈驱动下，于试样表面按一定时间、空间顺序作栅网式扫描。聚焦电子束与试样相互作用，产生二次电子发射，二次电子发射量随试样表面形貌而变化。二次电子信号被探测器收集 转换成电讯号，经视频放大后输入到显像管栅极，调制与入射电子束同步扫描的显像管亮度，得到反映试样表面形貌的二次电子像。 2.1 常用电子显微镜 扫描电镜的指标 2.1 常用电子显微镜 扫描电镜的指标 2.1 常用电子显微镜 扫描电镜的优点 2.1 常用电子显微镜 俄歇电子能谱（Auger electron spectrometer ，AES）的特点 2.1 常用电子显微镜 俄歇电子能谱的分析技术 2.1 常用电子显微镜 俄歇电子能谱的分析技术 2.1 常用电子显微镜 俄歇电子能谱的分析技术 2.2 原子力显微镜（Atomic Force Microscopy，AFM ） AFM的发展与应用 2.2 原子力显微镜（Atomic Force Microscopy，AFM ） AFM工作原理 2.2 原子力显微镜（Atomic Force Microscopy，AFM ） AFM工作原理 2.2 原子力显微镜（Atomic Force Microscopy，AFM ） AFM工作原理 2.2 原子力显微镜（Atomic Force Microscopy，AFM ） AFM工作原理 2.2 原子力显微镜（Atomic Force Microscopy，AFM ） AFM的应用 2.2 原子力显微镜（Atomic Force Microscopy，AFM ） AFM的应用 2.2 原子力显微镜（Atomic Force Microscopy，AFM ） AFM的应用 2.2 原子力显微镜（Atomic Force Microscopy，AFM ） AFM在摩擦学中的应用 2.2 原子力显微镜（Atomic Force Microscopy，AFM ） AFM在摩擦学中的应用 2.3 纳米压痕仪 2.3 纳米压痕仪 2.3 纳米压痕仪 第二节 实验测试仪器 AFM的工作模式主要三种：接触模式（Contact），非接触模式（non-ontact），敲击模式(tapping)。这三种模式是根据探针与样品之间作用力的形式来分的，接触模式的作用力是斥力，非接触模式的作用力是引力，而敲击模式介于前两者之间，是一个杂化的概念。 1. 接触模式。 探针与样品保持亲密