多晶硅生产物料平衡技术附件(中文).doc

技术附件目录 ———————— 设计基础 ———————— 工艺描述 ———————— 工艺要求 ———————— 工作范围及交付进度 ———————— 设计范围及主体设备 ———————— 性能保证值 ———————— 公用工程条件 ———————— 性能考核 ———————— 技术服务 附件1 设计基础 1.1 还原尾气的总量及组份 ( 3000t/a ) 1.1.1 按物料平衡计算： 序号 物质 T/a T/h Kmol/a Kmol/h Nm3/h V % 1 H2 12231.36 1.644 6115.7×103 822 18412 79.08% 2 SiHCl3 158678.09 21.3277 1171.1×103 157.4 3539 15.20% 3 SiCl4 41814.29 5.6202 246.0×103 33.06 740.5 3.18% 4 HCl 7015.3 0.9429 192.2×103 25.83 578.67 2.48% 5 SiH2Cl2 462.77 0.0622 4.6×103 0.616 13.7 0.06% 合计 220201.81 29.597 7729.6×103 1038.906 23283.87 100.00% 1.1.2 按物料平衡扩大20％计算： 序号 物质 T/a T/h Kmol/a Kmol/h Nm3/h V % 1 H2 14677.63 1.973 7338.8×103 986.4 22094.4 79.08% 2 SiHCl3 190413.71 25.593 1405.3×103 188.88 4246.8 15.20% 3 SiCl4 50177.15 6.744 295.2×103 39.67 888.6 3.18% 4 HCl 8416.9 1.131 230.6×103 31.00 694.4 2.48% 5 SiH2Cl2 555.32 0.0746 5.5×103 0.739 16.44 0.06% 合计 264240.71 35.5156 9275.4×103 1246.69 27940.64 100.00% 1.1.3 还原尾气回收系统入口参数： 温度：≤ 45℃ 压力：≥ 3kg/cm2(A) 1.2 氢化尾气的总量及组份 ( 3000t/a ) 1.2.1 按物料平衡计算 序号 物质 T/a T/h Kmol/a Kmol/h Nm3/h V % 1 H2 8318 1.118 4159×103 559 12522 70.6% 2 SiHCl3 35623 4.788 263×103 35.3 792 4.5% 3 SiCl4 204357 27.467 1202×103 161.6 3619 20.4% 4 HCl 9631 1.294 263×103 35.3 792 4.5% 5 SiH2Cl2 合计 257929 34.667 5887×103 791.2 17725 100％ 1.2.2 按物料平衡扩大20％计算 序号 物质 T/a T/h Kmol/a Kmol/h Nm3/h V % 1 H2 9981.6 1.342 4990.8×103 670.81 15026.1 70.6% 2 SiHCl3 42747.6 5.746 315.5×103 42.40 949.8 4.5% 3 SiCl4 245228.4 32.961 1442.5×103 193.89 4343.1 20.4% 4 HCl 11557.2 1.553 315.5×103 42.40 949.8 4.5% 5 SiH2Cl2 合计 309514.8 41.602 7064.3×103 949.50 21268.8 100％ 1.2.3 氢化尾气回收系统入口参数： 温度：≤ 45℃ 压力：≥ 3kg/cm2(A) 1.3 合成尾气的总量及组份 ( 3000t/a ) 1.3.1 按物料平衡计算 序号 物质 T/a kg/h Kmol/a Kmol/h Nm3/h V % 1 H2 516 69.35 258×103 34.68 776.77 48.69% 2 SiHCl3 29372 3947.85 216.8×103 29.14 652.63 41.08% 3 SiCl4 2876 386.56 16.9×103 2.27 50.93 3.21% 4 HCl 772 103.76 21.2×103 2.84 63.68 4.01% 5 SiH2Cl2 1580 212.37 15.6×103 2.10 47.