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集成的外延金属电极.pdf

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(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113366614 A (43)申请公布日 2021.09.07 (21)申请号 202080010583.X (74)专利代理机构中国贸促会专利商标事务所

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