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无接触远距离精密激光角位移检测装置.pdf

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(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213396975 U (45)授权公告日 2021.06.08 (21)申请号 202022056551.3 (22)申请日 2020.09.18 (73)专利权人 西安工程大学 地址
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