一种硅环加工定位治具.pdf
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(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 213401134 U
(45)授权公告日 2021.06.08
(21)申请号 202022009278.9
(22)申请日 2020.09.14
(73)专利权人 杭州盾源聚芯半导体科技有限公
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