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基于直线电机的自动化芯片移动装置.pdf

发布：2023-03-05约4.78千字共6页下载文档

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(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213386677 U (45)授权公告日 2021.06.08 (21)申请号 202022177883.7 (22)申请日 2020.09.28 (73)专利权人重庆曙煋智能装备有限公司

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