一种高真空低温金属测试装置.pdf
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(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 213398276 U
(45)授权公告日 2021.06.08
(21)申请号 202022161676.2
(22)申请日 2020.09.28
(73)专利权人 沈阳鹏程真空技术有限责任公司
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