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一种高真空低温金属测试装置.pdf

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(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213398276 U (45)授权公告日 2021.06.08 (21)申请号 202022161676.2 (22)申请日 2020.09.28 (73)专利权人 沈阳鹏程真空技术有限责任公司
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