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一种屏蔽探针装置、低温探针台及低温探针系统.pdf

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(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114563602 A (43)申请公布日 2022.05.31 (21)申请号 202210157268.0 (22)申请日 2022.02.21 (71)申请人北京航空航天大学地址 10019

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