一种大面积玻璃镀膜用铌平面靶材.pdf
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(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 213388869 U
(45)授权公告日 2021.06.08
(21)申请号 202022398072.X
(22)申请日 2020.10.26
(73)专利权人 宝鸡市佳军金属材料有限公司
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