文档详情

一种硅纳米结构的制备方法及激光器.pdf

发布:2023-06-20约1.09万字共11页下载文档
文本预览下载声明
(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113363150 A (43)申请公布日 2021.09.07 (21)申请号 202110562250.4 (22)申请日 2021.05.21 (71)申请人 中国科学院微电子研究所
显示全部
相似文档